Epitaxial growth of Si and 3C-SiC by chemical vapor deposition
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://mediatum.ub.tum.de/?id=602950 |
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