Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Dordrecht
Kluwer Academic Publishers
2002
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| Schriftenreihe: | NATO science series
Series II: Mathematics, physics and chemistry ; 55 |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | "Published in cooperation with NATO Scientific Affairs Division.". - Includes bibliographical references and index |
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| Beschreibung: | xii, 363 p. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 1402005245 |