Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Dordrecht
Kluwer Academic Publishers
2002
|
| Schriftenreihe: | NATO science series
Series II: Mathematics, physics and chemistry ; 55 |
| Schlagworte: | |
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