MEMS and NEMS systems, devices and structures

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Lyshevski, Sergey Edward (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton u.a. CRC Pr. 2002
Schriftenreihe:Nano- and microscience, engineering, technology and medicine series
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