Proceedings of the Symposia on Electrochemical Processing in ULSI fabrication I and Interconnect and Contact Metallization: Materials, Processes, and Reliability

Proceedings of the Symposia on Electrochemical Processing in ULSI fabrication I and Interconnect and Contact Metallization: Materials, Processes, and Reliability

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Symposium on Electrochemical Processing in ULSI Fabrication San Diego, Calif (VerfasserIn), Symposium on Interconnect and Contact Metallization - Materials, Processes, and Reliability (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 1999
Schriftenreihe:Electrochemical Society: Proceedings 1998,6
Schlagworte:
Circuits intégrés à très grande échelle - Conception et construction
Dépôt électrolytique
Métallisation
Électrochimie industrielle
Electric contacts > Congresses
Electrochemistry > Congresses
Integrated circuits > Design and construction > Congresses
Semiconductors > Design and construction > Congresses
Elektrochemisches Verfahren
Metallisieren
ULSI
Konferenzschrift > 1998 > Boston Mass.
Konferenzschrift > 1998 > San Diego Calif.
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