Untersuchungen zu leerstellenartigen Kristalldefekten nach Ionenimplantation in Halbleitern

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Eichler, Stefan (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	German
Veröffentlicht:	1997
Schlagworte:	Ionenimplantation Gitterleerstelle Galliumarsenid Siliciumhalbleiter Hochschulschrift
Online-Zugang:	http://sundoc.bibliothek.uni-halle.de/diss-online/98/98H127/prom.pdf http://d-nb.info/960418938/34
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