Untersuchungen zu leerstellenartigen Kristalldefekten nach Ionenimplantation in Halbleitern
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
1997
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://sundoc.bibliothek.uni-halle.de/diss-online/98/98H127/prom.pdf http://d-nb.info/960418938/34 |
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