Techniques and challenges for 300 mm silicon processing, characterization, modelling and equipment ; proceedings of Symposium F on Techniques and Challenges for 300 mm Silicon of the E-MRS 1998 Spring Conference ; Strasbourg, France, 16 - 19 June 1998
Gespeichert in:
| Format: | Tagungsbericht Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam [u.a.]
Elsevier
1999
|
| Schriftenreihe: | European Materials Research Society: European Materials Research Society symposia proceedings
81 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Wegen Wartungsarbeiten nicht verfügbar
Unser Bibliotheksverwaltungssystem ist momentan wegen Wartungsarbeiten nicht verfügbar.
Bestandes- und Verfügbarkeitsinformationen können momentan leider nicht angezeigt werden. Wir entschuldigen uns für die Umstände und stehen für weitere Fragen gerne zur Verfügung: