Handbook of chemical vapor deposition (CVD) principles, technology and applications

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Pierson, Hugh O. (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Norwich, NY Noyes Publ. 1999
Ausgabe:	2. ed.
Schriftenreihe:	Materials science and process technology series
Schlagworte:	Chemical vapor deposition > Handbooks, manuals, etc Vapor-plating > Handbooks, manuals, etc CVD-Verfahren
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