Handbook of chemical vapor deposition (CVD) principles, technology and applications
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Norwich, NY
Noyes Publ.
1999
|
| Ausgabe: | 2. ed. |
| Schriftenreihe: | Materials science and process technology series
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| Schlagworte: | |
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