$Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics III symposium held November 28 - 30, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A.$

Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics III symposium held November 28 - 30, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A.

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. Materials Research Soc. 1996
Ausgabe:	2. printing
Schriftenreihe:	Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings 363
Schlagworte:	CVD-Verfahren Keramischer Werkstoff Feuerfester Stoff Metall Konferenzschrift > 1994 > Boston Mass.
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