Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics III symposium held November 28 - 30, 1994, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Pittsburgh, Pa.
Materials Research Soc.
1996
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| Ausgabe: | 2. printing |
| Schriftenreihe: | Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings
363 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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