Time-of-flight spectrometry of recoiled atoms in the analysis of thin films

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jokinen, Janne (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Helsinki Finnish Acad. of Technology 1997
Schriftenreihe:Acta polytechnica Scandinavica / Applied physics series 212
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