Amorphe hydrogenisierte Bor-Kohlenstoff-Filme Herstellung, Charakterisierung und Untersuchung des Erosionsverhaltens = Amorphous hydrogenated boron carbon films

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Annen, Andreas 1964- (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Garching bei München Max-Planck-Inst. für Plasma-Physik 1997
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