Small scale structures proceedings of Symposium A on Microstructuring and Microsystems, Symposium B on Materials for sensors: Functional Nanoscaled Structures, and Symposium E on Structure and Properties of Metallic Thin Films and Multilayers of the 1995 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, May 22-26, 1995

Small scale structures proceedings of Symposium A on Microstructuring and Microsystems, Symposium B on Materials for sensors: Functional Nanoscaled Structures, and Symposium E on Structure and Properties of Metallic Thin Films and Multilayers of the 1995 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, May 22-26, 1995

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Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam [u. a.] Elsevier 1996
Schriftenreihe:European Materials Research Society: European Materials Research Society symposia proceedings 52
Schlagworte:
Chemical detectors > Congresses
Micromechanics > Congresses
Microstructure > Congresses
Nanostructures > Congresses
Thin films > Congresses
Mikrosystemtechnik
Metallschicht
Sensor
Mehrschichtsystem
Nanostrukturiertes Material
Dünne Schicht
Konferenzschrift > 1995 > Straßburg
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