Papers presented at the International Symposium on Ultra Materials for Picotransfer Makuhari, Chiba, Japan, 21 - 25 March 1995

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Ultra Materials for Picotransfer Makuhari, Chiba-ken (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 1996
Schriftenreihe:Thin solid films 273,1/2
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