Ion solid interactions fundamentals and applications
Modern technology depends on materials with precisely controlled properties. Ion beams are a favored method to achieve controlled modification of surface and near-surface regions. In every integrated circuit production line, for example, there are ion implantation systems. In addition, in integrated...
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| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Cambridge
Cambridge Univ. Press
1996
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| Ausgabe: | 1. publ. |
| Schlagworte: | |
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