Niederdruckplasma-Synthese dünner B-C-N-Schichten und deren Charakterisierung
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Univ.
1995
|
| Schriftenreihe: | Pulvermetallurgisches Laboratorium <Stuttgart>: Bericht
5 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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