Einsatz von Methoden der Versuchsplanung am Beispiel der Herstellung von Niob-Dünnfilmen

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Knappe, Silvia (VerfasserIn), Elster, Clemens (VerfasserIn), Aßmann, Cornelia (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW 1995
Schriftenreihe:Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Elektronische Entwicklung] 7
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