Realisierung von CMOS-Magnetfeldsensoren für den Einsatz auf dünnen Siliziummembranen in einem integrierten Drehmomentsensorsystem
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Mikrofilm Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Marburg
Tectum-Verl.
1996
|
| Ausgabe: | Mikrofiche-Ausg. |
| Schriftenreihe: | Edition Wissenschaft
Reihe Elektrotechnik ; 8 |
| Schlagworte: | |
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