Relaxation mechanischer Spannungen in dünnen Metallisierungsschichten

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Burges, Ulrich (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	German
Veröffentlicht:	Jülich Forschungszentrum, Zentralbibliothek 1995
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich 3112
Schlagworte:	Aluminiumlegierung Mechanische Spannung Dünne Schicht Relaxation Metallschicht Siliciumlegierung Kupferlegierung Leiterbahn Hochschulschrift
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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