Relaxation mechanischer Spannungen in dünnen Metallisierungsschichten
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
1995
|
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Jülich>: Berichte des Forschungszentrums Jülich
3112 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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