Micro electro mechanical systems an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; proceedings ; Travermünde, Germany, 4 February - 7 February 1992
Gespeichert in:
| Format: | Tagungsbericht Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Piscataway, NJ
IEEE Service Center
1992
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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