Yield, energy and angular distributions of sputtered atoms
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Eindhoven
1967
|
| Schriftenreihe: | Philips' Gloeilampenfabrieken <Eindhoven>: Philips research reports / Supplements
1967,2 |
| Schlagworte: | |
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