Proceedings of the Topical Conference on Surface Microengineering 23 - 24 Oct. 1989, Hynes Convention Center, Boston, Mass.

Proceedings of the Topical Conference on Surface Microengineering 23 - 24 Oct. 1989, Hynes Convention Center, Boston, Mass.

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Topical Conference on Surface Microengineering (1989, Boston, Mass.) (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	New York American Inst. of Physics 1990
Schriftenreihe:	Journal of vacuum science and technology / A 8,4
Schlagworte:	Oberflächenbehandlung Mikrosystemtechnik Oberfläche Konferenzschrift > 1989 > Boston Mass.
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