Proceedings of the Topical Conference on Surface Microengineering 23 - 24 Oct. 1989, Hynes Convention Center, Boston, Mass.
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
1990
|
| Schriftenreihe: | Journal of vacuum science and technology / A
8,4 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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