Herstellung von TaO-Dielektrika Ta2O5-Dielektrika mit 400V-Spannungsfestigkeit und deren Anwendung in Dünnschichttransistoren

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Mörsch, Gilbert (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Undetermined
Veröffentlicht:	1988
Schlagworte:	Dielektrikum Tantalpentoxid Dünnschichttransistor Hochschulschrift
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