Herstellung von TaO-Dielektrika Ta2O5-Dielektrika mit 400V-Spannungsfestigkeit und deren Anwendung in Dünnschichttransistoren
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1988
|
| Schlagworte: | |
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