Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
1990
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| Schriftenreihe: | Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik
4 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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