The role of microscopy in semiconductor failure analysis

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Richards, B. P. (VerfasserIn), Footner, P. K. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Oxford Oxford Univ. Press 1992
Schriftenreihe:Microscopy handbooks 25
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