Microelectronic materials and processes [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Microelectronic Materials and Processes, IlCiocco, Castelvecchio Pascoli, Italy, June 30 - July 11, 1986]

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Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Dordrecht u.a. Kluwer 1989
Schriftenreihe:NATO: NATO ASI series / E 164.
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