Methods and materials in microelectronic technology [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]

Methods and materials in microelectronic technology [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Tagungsbericht Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	New York, NY Plenum Press 1984
Schriftenreihe:	The IBM research symposia series.
Schlagworte:	Mikroelektronik Technologie Fotolithografie > Halbleitertechnologie Röntgenlithografie VLSI Technik Halbleitertechnologie Integrierte Schaltung Konferenzschrift > 1982 > Neuenahr-Ahrweiler Ionenlithographie
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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