Methods and materials in microelectronic technology [proceedings of the International Symposium on Methods and Materials in Microelectronic Technology, held September 29 - October 1, 1982, in Bad Neuenahr, Federal Republic of Germany]
Gespeichert in:
| Format: | Tagungsbericht Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
Plenum Press
1984
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| Schriftenreihe: | The IBM research symposia series.
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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