Vacuum Pressure Measurement in Industrial Environments

Summary High accuracy and reproducibility are the basis for outstanding product quality in the manufacturing of vacuum pressure gauges. Selective product and process controls supported by statistical process control (SPC) ensure success. Automated calibration processes traceable to the National Measuring Institute (NMI) are necessitated by the high product volume and the requirement for complete traceability. Even in industrial use under mostly non‐ideal surrounding conditions, the devices must deliver stable and accurate measured values in all production processes. Using the example of hot‐filament ionization gauges, it is shown how design modifications in the production process have reduced the measurement uncertainties of the devices from one generation to the next. In another example, the introduction of a second baffle in a capacitance diaphragm gauge, led to significant reductions in sensor drift. Zusammenfassung Vakuumdruckmessung in der Industrie Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit sind auch in der Herstellung von Vakuumdruckmessern eine Grundlage herausragender Produktqualität. Gezielte Produkt‐ und Prozesssteuerungen unterstützt von statistischer Prozesskontrolle (SPC) gewährleisten dort den Erfolg. Dabei tragen automatisierte, an das National Messmittel Institut (NMI) angebundene Kalibrierungsprozesse dem hohen Produktvolumen und der Forderung nach lückenloser Rückverfolgbarkeit Rechnung. Auch im industriellen Einsatz unter meistens nicht idealen Umgebungsbedingungen müssen die Geräte in allen Produktionsprozessen stabile und genaue Messwerte liefern. Am Beispiel von Heißionisationsmanometern wird gezeigt, wie durch konstruktive Maßnahmen im Produktionsprozess die Messunsicherheiten der Geräte von einer Generation zur nächsten Generation reduziert wurden. In einem weiteren Beispiel wird gezeigt, dass durch die Einführung eines zweiten Baffles bei kapazitiven Sensoren der Sensordrift deutlich reduziert werden konnte.