Vakuum für Anwender
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Veröffentlicht in: | Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2016, Vol.28 (5), p.50-51 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0947-076X 1522-2454 |
DOI: | 10.1002/vipr.201690050 |