Vakuum für Anwender

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2016, Vol.28 (5), p.50-51
Hauptverfasser: Lange, Patrick, Barfuss, Heinz
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0947-076X
1522-2454
DOI:10.1002/vipr.201690050