Komplexer Feinvakuum‐Pumpstand für Dünnschichtverdampfer

Komplexer Feinvakuum‐Pumpstand für Dünnschichtverdampfer

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Veröffentlicht in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2016-06, Vol.28 (3), p.50-51
1. Verfasser: Petz, Andreas
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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