Komplexer Feinvakuum‐Pumpstand für Dünnschichtverdampfer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2016-06, Vol.28 (3), p.50-51
1. Verfasser:	Petz, Andreas
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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