Composition Oscillations in Amorphous Ta-Si Films Produced by Laser Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica status solidi. A, Applied research Applied research, 1994-09, Vol.145 (1), p.K43-K45
Hauptverfasser:	Maksimov, S. K., Khabelashvili, I. D., Uvarov, O. V., Zenkevich, A. V., Verner, I. V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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