X-Ray diagnostics of 2D deformation profiles in crystals with periodically distorted near-surface region

An algorithm for the restoration of two‐dimensional displacement fields of the crystal lattice atoms is developed for the case of distortions which are periodic in one direction. The method is based on triple‐crystal X‐ray diffractometry data and has high spatial resolution (up to 0.01 m̈m) and sensitivity to lattice deformations of the order of Δd/d ≤ 10−7. The deformation profile in a silicon single‐crystal implanted by neon ions is restorated. Ein Algorithmus für die Wiederherstellung von zweidimensionalen Verschiebungsfeldern der Kristalgitteratome wird für den Fall von Verzerrungen, die in einer Richtung periodisch sind, entwickelt. Die Methode beruht auf Tripel‐Kristall‐Röntgenbeugungsdaten und hat eine hohe räumliche Auflösung (bis zu 0,01 m̈m) und eine Empfindlichkeit gegenüber Gitterdeformationen der Größenordnung von Δd/d ≤ 10−7. Das Deformationsprofil in einem Siliziumeinkristall, der mit Neonionen implantiert wird, wird wiederhergestellt.