Erzeugung dünner Schichten: neue Herausforderungen für die Metallorganische Chemie

Die Metallorganische Chemie der Precursor für dünne Schichten und Schichtstrukturen ist ein junges Forschungsgebiet, in dem es, wie in vielen anderen Bereichen der modernen Chemie, weniger um die Verwirklichung völlig neuer Molekülstrukturen und Bindungsverhältnisse geht als vielmehr um ein vertieftes Verständnis und eine strategischökonomische Ausnützung chemischer Reaktivitäten. Nur ein fundamentales Verständnis aller vom molekularen Precursor bis zum endgültigen Material zu durchlaufenden Teilschritte kann hier langfristig erfolgsversprechend sein. Die Konstitutions‐ und Strukturvielfalt metallorganischer Komplexverbindungen bietet einen reichen Schatz an Möglichkeiten für die Synthese neuer Materialien. Die Erzeugung dünner Schichten durch Chemische Dampfabscheidung aus maßgeschneiderten flüchtigen Organometallverbindungen als Precursor, denen dieser Beitrag gewidmet war, stellt daraus nur einen kleinen Ausschnitt dar.