Plasma-Enhanced CVD Synthesis and Structural Characterization of Ta2N3

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ChemInform 2004-10, Vol.35 (43), p.no-no
Hauptverfasser:	Ganin, Alexei Yu, Kienle, Lorenz, Vajenine, Grigori V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	nitrogen nitrogen, N structure (solids and liquids) tantalum tantalum, Ta
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	For see ChemInform in Full Text.
ISSN:	0931-7597 1522-2667
DOI:	10.1002/chin.200443024