Selbstkatalytische Atomlagenabscheidung von Siliciumdioxid
Molekulare Selbstattacke: Dem Mythos nach kann sich der Skorpion selbst zu Tode stechen, und ganz ähnlich katalysiert 3‐Aminopropyltriethoxysilan seine eigene Hydrolyse in der Atomlagenabscheidung (ALD) von SiO2 zu dünnen Filmen und Nanostrukturen (siehe Bild). Die Wachstumsgeschwindigkeit pro ALD‐Z...
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| Veröffentlicht in: | Angewandte Chemie 2008-08, Vol.120 (33), p.6272-6274 |
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| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext |
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