Low temperature deposition of high quality single crystalline AlN thin films on sapphire using highly oriented monolayer MoS 2 as a buffer layer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of crystal growth 2020-08, Vol.544, Article 125726
Hauptverfasser:	Chien, Hung-Yi, Kuo, Po-Chun, Kao, Hui-Ling, Chen, Jyh-Shin, Chen, Meei-Ru, Lu, Li-Syuan, Chueh, Wei-Chen, Chang, Wen-Hao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Crystallography Materials Science Materials Science, Multidisciplinary Physical Sciences Physics Physics, Applied Science & Technology Technology
Online-Zugang:	Volltext
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