化学沉积Mn掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能

采用化学沉积法制备了纯ZnO和不同Mn掺杂浓度的Mn掺杂ZnO薄膜,并对所制备薄膜的结构、形态和光学性能进行了研究.XRD分析显示,所有薄膜都呈六角形结构,但Mn掺杂的ZnO薄膜存在峰移.随Mn掺杂浓度的升高,晶体尺寸增大.Mn掺杂ZnO薄膜表面分布不规则颗粒,并呈团聚状.Mn掺杂ZnO薄膜在可见光区表现出更高的透射率,但随着Mn掺杂浓度的升高,透射率逐渐降低.随Mn掺杂浓度的升高,薄膜的带隙减小.Mn掺杂ZnO薄膜在紫外区表现出更高的光导率和导电率....

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Veröffentlicht in:	中南大学学报（英文版） 2023, Vol.30 (3), p.691-706
Hauptverfasser:	Emine GüNERI, Johnson HENRY, Fatma G?DE, Nilgün Kalaycio?lu ?ZPOZAN
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	采用化学沉积法制备了纯ZnO和不同Mn掺杂浓度的Mn掺杂ZnO薄膜,并对所制备薄膜的结构、形态和光学性能进行了研究.XRD分析显示,所有薄膜都呈六角形结构,但Mn掺杂的ZnO薄膜存在峰移.随Mn掺杂浓度的升高,晶体尺寸增大.Mn掺杂ZnO薄膜表面分布不规则颗粒,并呈团聚状.Mn掺杂ZnO薄膜在可见光区表现出更高的透射率,但随着Mn掺杂浓度的升高,透射率逐渐降低.随Mn掺杂浓度的升高,薄膜的带隙减小.Mn掺杂ZnO薄膜在紫外区表现出更高的光导率和导电率.
ISSN:	2095-2899