飞秒激光微爆加工铌酸锂晶体

利用紧聚焦飞秒激光脉冲入射到铌酸锂（LiNbO3）晶体中引起微爆，可以在晶体内部进行微爆加工．与各向同性的熔融石英不同，因为铌酸锂晶体的各向异性，微爆加工点在垂直晶轴的截面上表现出强烈的各向异性．我们利用狭缝光阑对入射飞秒高斯光束进行整形，改变了光束的能量分布，成功地减小加工点的各向异性，获得尺寸较一致的微爆单元．另外发现由于折射率失配的存在，飞秒脉冲激光聚焦深度不一样时，微爆加工点在沿晶轴方向的截面形状和尺寸都有很大的变化，对此也进行了理论和实验上的分析．...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Zhōngguó kēxué jìshù dàxué xuébào 2008, Vol.38 (5), p.558-562
1. Verfasser:	肖诗洲郭锐程光华黄文浩
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Schlagworte:	微爆折射率失配激光微加工铌酸锂
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	利用紧聚焦飞秒激光脉冲入射到铌酸锂（LiNbO3）晶体中引起微爆，可以在晶体内部进行微爆加工．与各向同性的熔融石英不同，因为铌酸锂晶体的各向异性，微爆加工点在垂直晶轴的截面上表现出强烈的各向异性．我们利用狭缝光阑对入射飞秒高斯光束进行整形，改变了光束的能量分布，成功地减小加工点的各向异性，获得尺寸较一致的微爆单元．另外发现由于折射率失配的存在，飞秒脉冲激光聚焦深度不一样时，微爆加工点在沿晶轴方向的截面形状和尺寸都有很大的变化，对此也进行了理论和实验上的分析．
ISSN:	0253-2778