同位素10B靶的制备
O484.1; 为准确测量10B(n,α)7Li和10B(n,t2α)的反应截面,需制备质量厚度为50~350 μg/cm2的10B靶.本文系统研究了同位素10B靶的制备工艺,确定了"压片-烧结-蒸发"三步法制备10B靶.研究了基片温度对10 B膜生长过程、结构和膜基结合力的影响,测试和分析了10B靶的不均匀性.结果表明,利用间歇式静电聚焦微调电子轰击法制备同位素10B靶,蒸发速率应低于0.02 μg/(cm2·s);灯丝平面与10B柱的最佳距离为10.5~11 mm;生长的10B膜随基片温度的升高而致密并逐步结晶,膜基结合力也更好,最佳基片温度约为300℃.对于尺寸为φ8...
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Veröffentlicht in: | 原子能科学技术 2021, Vol.55 (3), p.550-554 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | chi |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | O484.1; 为准确测量10B(n,α)7Li和10B(n,t2α)的反应截面,需制备质量厚度为50~350 μg/cm2的10B靶.本文系统研究了同位素10B靶的制备工艺,确定了"压片-烧结-蒸发"三步法制备10B靶.研究了基片温度对10 B膜生长过程、结构和膜基结合力的影响,测试和分析了10B靶的不均匀性.结果表明,利用间歇式静电聚焦微调电子轰击法制备同位素10B靶,蒸发速率应低于0.02 μg/(cm2·s);灯丝平面与10B柱的最佳距离为10.5~11 mm;生长的10B膜随基片温度的升高而致密并逐步结晶,膜基结合力也更好,最佳基片温度约为300℃.对于尺寸为φ80 mm同位素10B靶的制备,不均匀性可控制在10%以内.已经成功在Ta和A1基片上制备了厚度<350 μg/cm2 的10B靶用于核物理实验测量. |
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ISSN: | 1000-6931 |
DOI: | 10.7538/yzk.2020.youxian.0198 |