扫描电镜中半导体制冷冷台使用条件优化及在高含水量样品中的应用

目的:有效解决高含水量样品电子显微结构观察的难点.方法:通过常规扫描电子显微镜搭配半导体制冷冷台的新仪器组合模式,对一系列高含水量样品进行显微结构观察.结果:高含水量样品在以导电胶带为基质,电压5 kV,电子束斑值为50/60,冷台温度为4 ℃的条件下,无需对样品进行固定和脱水处理,可以在扫描电子显微镜下直接成像观察其显微结构,样品微观结构没有皱缩、拉伸、扭曲等变形现象,能够更真实地反映样品的原貌.结论:常规扫描电子显微镜搭配半导体制冷冷台的仪器自由组合模式是解决高含水量样品显微结构观察的有效手段.