电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用

电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用

TH113.2+5; 简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理,电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度,已成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上.本文提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测,并分析了输出为角振动和线振动的结构设计方案及检测方式....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:泉州师范学院学报 2001, Vol.19 (6), p.29-32
Hauptverfasser: 李文望, 孙道恒
Format: Artikel
Sprache:chi
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:TH113.2+5; 简介微机械振动陀螺的工作原理和电子隧道效应原理,电子隧道效应在敏感微小位移的变化有极高的灵敏度,已成功地应用在加速度计、红外探测器、磁强针等微传感器上.本文提出把电子隧道效应应用到微机械振动陀螺的输出检测,并分析了输出为角振动和线振动的结构设计方案及检测方式.
ISSN:1009-8224
DOI:10.3969/j.issn.1009-8224.2001.06.008