纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展

TN40; 长期以来,半导体硅材料对信息产业发展起到了决定性的作用.当前纳米集成电路发展起来,使用硅基材料,器件功耗有所降低,运行速度提升,各种负面影响减少.文章着重于探讨纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展.

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	科技创新与应用 2020 (18), p.68-69
1. Verfasser:	钟锐涛
Format:	Artikel
Sprache:	chi
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	TN40; 长期以来,半导体硅材料对信息产业发展起到了决定性的作用.当前纳米集成电路发展起来,使用硅基材料,器件功耗有所降低,运行速度提升,各种负面影响减少.文章着重于探讨纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展.
ISSN:	2095-2945