高质量硫化镉薄膜沉积装置的开发与应用

TQ03-39; 硫化镉薄膜广泛应用于铜铟镓硒太阳能电池的缓冲层中,化学水浴沉积是制备硫化镉薄膜最普遍的方式.由于传统的搅拌式薄膜沉积装置制备的薄膜均匀性较低,该文开发了一种新型振荡式硫化镉薄膜沉积装置,并对其应用范围进行了拓展.该文对振荡式沉积装置进行了实验与分析,结果表明:该装置可制备出均匀性良好的硫化镉薄膜.同时,该装置可同时适用于刚性和柔性、不同尺寸电池基片的薄膜沉积.该文还对振荡式和搅拌式沉积装置进行了流体仿真模拟,结果表明:振荡式沉积装置的速度场向量分布和速度分布标准差均优于搅拌式沉积装置.